光學(xué)相關(guān)數(shù)據(jù)整合
利用硅壓阻力學(xué)芯片傳感器作為原位監(jiān)測的載體,研究了直接粘貼芯片的封裝方式中,芯片在基板上的不同位置對于封裝后殘余應(yīng)力的影響以及在熱處理過程中殘余應(yīng)力的變化,發(fā)現(xiàn)粘貼在基板靠近邊的位置和中心位置時應(yīng)力水平接近,但是靠近基板一角的位置應(yīng)力較大,而且在熱處理過程中應(yīng)力出現(xiàn)“突跳”和“尖點”。